SFM5400マスフロー計は、優れた精度（誤差＜1%）、高い再現性、長期安定性、そして広いダイナミック測定範囲を備えています。SFM5400は金属製で、高いカスタマイズ性を持っています。さまざまな機械接続および電気インターフェースに対応しています。センサー信号はチップ上で直接デジタル信号に変換され、完全に校正され、温度補償されています。複数のガス校正データを1つのデバイスに保存することが可能です。さらに、流量計は選択されたガス校正が実際のガスと一致しているかを確認することができます。SFM5400の汎用性により、産業および医療用途に最適なソリューションとなっています。SFM5400マスフロー計の優れた性能は、革新的なCMOSens®技術に基づいています。この技術は、高精度センサー素子と信号処理回路を単一のCMOSシリコンチップ上に統合しています。高品質な材料と組み合わせることで、長期にわたり安定し、高速かつ高精度なマスフロー計を実現しています。SFM5400マスフロー計は、SFC5400マスフローコントローラのバルブなしバージョンです。SFC5400マスフローコントローラは、マスフロー計と同様の性能特性を持ち、類似の用途に適しています。これら2つの製品は完全に組み合わせて使用することができます。SFC5400のウェブサイトでは、マスフローコントローラに関する詳細情報および仕様をご確認いただけます。